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中國電子行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo) (EW-1) (EW-2)
 電阻率MΩ.CM. (25℃) 18(95‰時(shí)間)不低于17 15(95‰時(shí)間)不低于13
  硅   ≤μg/L 2 10
?。?μm 微粒數(shù) 0.1 5
 細(xì)菌個數(shù) ≤個/ml 0.01 0.1
  銅   ≤μg/L 0.2 1
  鋅   ≤μg/L 0.2 1
  鎳   ≤μg/L 0.1 1
  鈉   ≤μg/L 0.5 2
  鉀   ≤μg/L 0.5 2
  氯   ≤μg/L 1 1
 硝酸根  ≤μg/L 1 1
 磷酸根  ≤μg/L 1 1
 硫酸根  ≤μg/L 1 1
 總有機(jī)碳 ≤μg/L 20 100

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